F-DGSi Calpyso 시리즈 생산량 5~64L N2/min, 최대압력 8bar(116psi)순도(Purity) 99.5% 이상
F-DGSi Cosmos ZA 시리즈 HC/CO <0.05PPM, 1~30L/min
F-DGSi DEIMOS 시리즈 순도 : <0.05ppm THC, <0.05ppm CO, <1ppm CO2
F-DGSi NDC 시리즈 CO2 Level 1 ppm, H2O Dew Point -70°C, Particle <1µ
F-DGSi NDL 시리즈 H2O Dew Point < -40°C, Particle <1µ
F-DGSi CryoGen 시리즈 생산량 10~60L / day
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